工作原理是利用旋片在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)，將氣體吸入并排出。具有體積小、重量輕、噪音低、啟動(dòng)快等優(yōu)點(diǎn)。

適用于對真空度要求較高、抽氣速率相對較小的場合，如實(shí)驗(yàn)室、電子工業(yè)中的真空鍍膜、真空干燥等。但不適用于抽除含大量水蒸氣或腐蝕性氣體的場合。

通過活塞在氣缸內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來抽氣，結(jié)構(gòu)簡單，維修方便，能夠獲得較高的真空度。

常用于抽氣量較大且對真空度要求較高的場合，如真空冶煉、真空蒸餾等。不過，其運(yùn)行速度較慢，體積較大，且振動(dòng)和噪音相對較大。

利用葉輪旋轉(zhuǎn)形成水環(huán)，通過水環(huán)與葉輪之間容積的變化來抽氣。可以抽除含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，工作過程中氣體不會(huì)被油污染，具有結(jié)構(gòu)簡單、運(yùn)行穩(wěn)定、操作維護(hù)方便等特點(diǎn)。

廣泛應(yīng)用于化工、制藥、造紙、食品等行業(yè)，尤其適用于需要在較高真空度下處理含有水蒸氣的氣體的場合，如真空蒸發(fā)、真空結(jié)晶等。但它的效率相對較低，能耗較高。

由兩個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的羅茨轉(zhuǎn)子組成，通過轉(zhuǎn)子間的間隙來輸送氣體，具有抽氣速率大、啟動(dòng)快、能在較低壓力下工作等優(yōu)點(diǎn)。

通常用于高真空系統(tǒng)中，作為前級(jí)泵與其他真空泵配合使用，以提高系統(tǒng)的抽氣速度和極限真空度，如在電子束焊、真空鍍膜等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。但它不能單獨(dú)在大氣壓下工作，需要與前級(jí)泵串聯(lián)使用。

利用一對螺桿在泵腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)抽氣，具有抽速大、真空度高、對被抽氣體中的灰塵和水蒸氣不敏感等優(yōu)點(diǎn)，且運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低，維護(hù)成本低。

適用于對真空度要求較高、對氣體品質(zhì)要求較嚴(yán)格的場合，如半導(dǎo)體制造、制藥、化工等行業(yè)的真空工藝過程。尤其在處理含有一定量粉塵或水蒸氣的氣體時(shí)，具有明顯的優(yōu)勢